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潤滑元件

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溫控器

+ 高真空元件

高真空元件

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潔凈/低發塵/ 無銅氟離子

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3通氣控閥 VPA

彈性密封

系列/CAD	流量特性
	2→3 (OUT→EXH)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VPA3145	42	0.39	10
VPA3165	有效截面積：330mm²
VPA3185	有效截面積：670mm²
特長	容量大，排氣阻力小。

3通氣控閥 VPA

彈性密封

系列/CAD	流量特性
	2→3 (A→R)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VPA300	4.1	0.31	1.0
VPA500	9.3	0.42	2.4
VPA700	16	0.28	4.0
特長	可與VP300/500/700系列的內部先導閥安裝在同一集裝板上。 N.C./N.O.切換簡便。

3通氣控閥 VGA

彈性密封

系列/CAD	流量特性
	2→3 (A→R)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VGA342	38	0.32	9.8
特長	N.C./N.O.切換簡便。

3通氣控閥 VTA

彈性密封

系列/CAD	流量特性
	2→3 (A→R)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VTA301	0.60	0.29	0.15
VTA315	1.7	0.39	0.45
特長	多種接管形式。壓力從0MPa起可以使用。

3通氣控閥 VZA

間隙密封

系列	流量特性
	4/2→5/3 (A/B→EA/EB)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VZA200	0.85	0.35	0.22
VZA400	2.2	0.17	0.53
特長	主閥采用間隙密封方式。

3通氣控閥 SYJA

彈性密封

系列/CAD	流量特性
	2→3 (A→R)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
SYJA300	0.36	0.31	0.089
SYJA500	1.2	0.48	0.34
SYJA700	2.7	0.34	0.69
特長	可與SYJ300/500/700系列安裝在同一集裝板上。可以手動操作。

4・5通氣控閥 VSA

間隙密封

系列/CAD	流量特性			適合缸徑
	A/B→EA/EB
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VSA4□20	5.6	0.51	1.4	φ80
VSA4□30	9.6	0.17	2.4	φ100
VSA4□40	16	0.32	4.2	φ140
特長	主閥采用間隙密封方式。

5通氣控閥 VPA

彈性密封

系列/CAD	流量特性			適合缸徑
	4/2→5/3 (A/B→EA/EB)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VPA4□50	21	0.28	5.6	φ140
VPA4□70	有效截面積：300mm²			φ300
特長	可與VP4□50系列安裝在同一集裝板上。

5通氣控閥 VFRA

彈性密封

系列/CAD	流量特性			適合缸徑
	4/2→5/3 (A/B→EA/EB)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VFRA3000	8.6	0.37	2.2	φ100
VFRA4000	14	0.30	3.7	φ125
特長	可與VFR3000/4000系列安裝在同一集裝板上。

5通氣控閥 VFA

彈性密封

系列/CAD	流量特性			適合缸徑
	4/2→5/3 (A/B→EA/EB)
	C[dm³/(s·bar)]	b	Cv
VFA3000	2.6	0.23	0.62	φ63
VFA5000	12	0.32	3.0	φ140
特長	可與VF3000/5000系列安裝在同一集裝板上。

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